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一种铌酸锂单晶棒生长提拉系统[实用新型专利]

2023-04-07 来源:赴品旅游
专利内容由知识产权出版社提供

专利名称:一种铌酸锂单晶棒生长提拉系统专利类型:实用新型专利发明人:徐国忠

申请号:CN201820025490.4申请日:20180106公开号:CN207685404U公开日:20180803

摘要:本实用新型公开了一种铌酸锂单晶棒生长提拉系统,它包括:炉体;升降组件,所述升降组件包括固定在所述炉体顶部的支撑板以及安装在所述支撑板上表面的多个气缸;拉制组件,所述拉制组件包括安装在多个所述气缸上的基板、安装在所述基板上表面的支撑座、设置于所述支撑座上方的转轴、安装在所述支撑座上且与所述转轴端部相连接的电机、一端卷绕在所述转轴上且另一端延伸至所述炉体内的提拉绳、安装在所述提拉绳另一端的仔晶杆以及安装在所述基板上表面且罩在所述转轴外的壳体。这样能够保证提拉绳的另一端位于液位以上的合适位置并带动仔晶杆向上运动,从而实现单晶棒的匀速生长。

申请人:盐城市振弘电子材料厂

地址:224021 江苏省盐城市盐都区秦南镇灯塔村九组

国籍:CN

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